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風淋室在MEMS中試平臺的應(yīng)用

    近日,fenglins在朋友的帶領(lǐng)下,來參觀某MEMS中試平臺,聽相關(guān)負責人介紹道:近千平米的潔凈室便是微機電制造的“主戰(zhàn)場”，按照工藝流程分為“光刻區(qū)”、“蝕刻區(qū)”、“薄膜區(qū)”、“擴散區(qū)”、“注入?yún)^(qū)”和“封裝測試區(qū)”。筆者穿梭在160多套頂尖的制造機臺間，“高大上”的氣息撲面而來。而且在進入這種車間的前面都要經(jīng)過一道風淋室進行風淋除塵后才能進入到里面.

    整個MEMS中試平臺的潔凈度等級分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度最嚴苛的是光刻區(qū)，按照標準，即使是肉眼看不見的灰塵，一立方米的空氣中最多只能存在幾粒。

    MEMS中試平臺的專業(yè)還體現(xiàn)在對環(huán)境的苛刻要求，溫度要時刻保持23度，上下幅度不能超過1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過5%。進入該平臺的“心臟”--潔凈室之前，所有人員必須換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備?？蓜e以為這樣就能輕松進入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要面臨風淋室里面的8個風淋噴嘴進行10秒鐘的吹風清潔，以確保拂去塵土。

    要保持清潔，除實時監(jiān)測和定期打掃外，還有一個隱藏在地板地下的奧秘。“其實我們現(xiàn)在看到的機臺都只是‘冰山一角’，它們的一些附屬設(shè)備都‘埋’在地板下，比如冷卻機、氣柜、泡沫管等等。”工作人員說:“將機臺的部分‘身體’埋起來可以有效減少灰塵的堆積。”仔細觀察，你還會發(fā)現(xiàn)地板上分布著許多小洞，這些小洞是為了讓灰塵隨著空氣層流從上至下流到“地下”并排出的獨特設(shè)計。這個也是潔凈室里面最常見的一種送風方式,隨時著和各種潔凈度要求的提高, MEMS中試平臺的潔凈要求也是相對比較高的,這就要求所配套使用的風淋室一定要達到相關(guān)要求.